基于原子力显微镜(AFM)的微加工系统

• 作者: 夏加飞 孙涛 梁迎春 程凯 董申 闫永达
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: AFM 微加工 串口通讯
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 125-129
• 页数: 5页
• 分类号: TH742.9
• 字数: 3231字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.02.004

摘要

目前原子力显微镜(AFM)已经成为纳米加工领域中一种重要的加工手段,但由于其自身扫描陶管及针尖等因素的影响,AFM的微加工能力在很大程度上受到限制.利用三维微动工作台结合原子力显微镜以及锋利的金刚石针尖组成微加工系统,通过编程获取微结构的轮廓,选择RS-232串口作为通讯方式,发送字符串命令控制工作台的运动实现预定的轨迹,从而消除了扫描陶管运动范围有限且存在漂移和滞后的影响,解决了氮化硅和单晶硅针尖加工材料范围有限的问题,提升了AFM的加工能力,并加工出较为复杂的微结构及微传感器.实验表明这是一种可行的微加工方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁迎春	哈尔滨工业大学精密工程研究所	145	2341	26.0	39.0
2	董申	哈尔滨工业大学精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0
3	孙涛	哈尔滨工业大学精密工程研究所	124	1024	17.0	23.0
4	闫永达	哈尔滨工业大学精密工程研究所	34	237	9.0	13.0
5	程凯	哈尔滨工业大学精密工程研究所	66	1058	19.0	30.0
6	夏加飞	哈尔滨工业大学精密工程研究所	2	33	2.0	2.0