微机械加速度传感器及应用

• 作者: 石庚辰
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微加速度传感器
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TJ430.1
• 字数: 3181字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2003.03.002

摘要

叙述了各种微机械加速度传感器的工作原理、特点、研究现状及发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石庚辰	北京理工大学机电工程系	54	627	15.0	23.0