微机电系统测试技术及方法

• 作者: 李智 王向军
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 MEMS检测技术 光电检测 计算机视觉检测
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 37-44
• 页数: 8页
• 分类号: TH133.21
• 字数: 6575字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.01.007

摘要

微机电系统(MEMS)测试技术及方法是MEMS设计、仿真、制造及质量控制和评价的关键环节之一,本文对MEMS测试技术及方法所涉及的微机械量、微几何量、微材料特性以及系统综合参数与性能的测试技术及方法进行了讨论.重点介绍了光学及光电检测技术在微机电系统检测中的应用,对计算机微视觉检测技术在微机电系统检测中的应用进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向军		4	67	4.0	4.0
2	李智		1	44	1.0	1.0