测量薄膜厚度及其折射率的光学方法

• 作者: 何振江 黄佐华
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 物理学
• 关键词: 椭圆偏振法 棱镜耦合法 干涉法 膜厚 折射率
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 42-44
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2495字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-8892.2003.04.011

摘要

介绍了椭圆偏振法、棱镜耦合法和干涉法测量薄膜厚度和折射率的基本原理和仪器组成,并分析了它们的特点及存在问题,指出选择测量方法和仪器应注意的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄佐华	华南师范大学物理系	63	586	13.0	22.0
2	何振江	华南师范大学物理系	74	867	18.0	26.0