用激光束成像法测量双E型硅弹性膜应变

• 作者: 刘生长 叶伏秋 唐世洪 邓永和
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光束成像 弹性膜 应变
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 8-9,12
• 页数: 3页
• 分类号: TP216
• 字数: 1769字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2003.05.003

摘要

用激光束成像法对双E型传感器的硅弹性膜应变进行的研究,测出了该弹性膜的应变情况 ,此方法对其它结构形式的敏感芯片应变的研究也有一定的参考价值.