利用扫描电镜和原子力显微镜测量纳米微孔阳极氧化铝膜

• 作者: 任刚 许如清 陈皓明 韩立
• 来源期刊: 物理
• 学科: 工学
• 关键词: AFM SEM 多孔型阳极氧化铝膜 纳米
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 36-41
• 页数: 6页
• 分类号: TB383
• 字数: 4102字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0379-4148.2003.01.008

摘要

利用多孔型阳极氧化铝膜(PAA)制备纳米材料是近年来研究的热点之一,对PAA的形貌进行准确的表征具有重要的意义.文章首先分析了传统的扫描电镜(SEM)观测方法中镀膜工艺对样品和测量结果的影响,并提出了对镀膜过渡区进行观测的方案.然后着重研究了利用原子力显微镜(AFM)对PAA进行无损测量的方法,比较了不同测量模式下的测量结果,并利用Reiss模型对"针尖-样品卷积效应"进行了有效的修正.文章的研究结果不仅适用于多孔型阳极氧化铝膜这一研究领域,对于纳米多孔材料的测量也有普遍的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩立	清华大学物理系扫描探针显微镜实验室	11	83	5.0	9.0
2	陈皓明	清华大学物理系扫描探针显微镜实验室	16	270	7.0	16.0
3	任刚	清华大学物理系扫描探针显微镜实验室	4	64	3.0	4.0
4	许如清	清华大学物理系原子分子纳米科学研究中心	2	20	1.0	2.0