误差补偿技术在相位偏移干涉测量中的应用

• 作者: 朱名铨 黎永前
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 相位偏移干涉 误差补偿 纳米精度测量
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 497-500
• 页数: 4页
• 分类号: TH74
• 字数: 2073字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2003.05.015

摘要

在研究泰曼-格林相位偏移干涉仪测量原理基础上,分析了位移驱动器移相误差对五幅移相计算结果的影响,一阶线性误差和二阶非线性误差是相位偏移干涉测量技术中产生相位误差的主要因素;提出了五幅算法移相误差补偿技术,该方法直接从相位偏移干涉图中计算移相过程中存在的一阶及二阶移相误差,对五幅算法结果进行误差修正;采用玻璃平晶为测试对象,建立了泰曼-格林干涉仪移相误差补偿原理试验系统.试验结果表明在同时存在一阶移相误差及二阶移相误差情况下,采用提出的移相误差补偿方法可以将位移测量精度提高6倍,相当于采用氦氖激光器的倍程干涉仪中位移精度达到1.0nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱名铨	西北工业大学机电工程学院	58	993	19.0	28.0
2	黎永前	西北工业大学机电工程学院	18	227	7.0	15.0