脉冲钨离子注入导致的空洞效应

• 作者: 张通和 杨建华
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入 空洞 耐磨性
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 403-404,411
• 页数: 3页
• 分类号: TG156.8
• 字数: 3143字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2003.04.016

摘要

采用由金属蒸汽真空弧(metal vapor vacuum arc,简称 MEVVA)离子源引出的强束流脉冲钨离子对H13钢进行了离子注入表面改性研究.在注入剂量为1×1017cm-2,温度为200℃以下,观察到强束流脉冲钨离子注入导致的空洞和空洞的硬化及脆化效应,分析了空洞对注入钨元素浓度深度分布的影响,基于热峰效应(spike),讨论了空洞的形成原因及其与材料耐磨性的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张通和	北京师范大学物理系	49	1052	11.0	32.0
2	杨建华	南通工学院物理部	19	52	4.0	7.0