化学放大胶在电子束光刻技术中的应用

• 作者: 杨忠山 田丰 韩立
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 化学放大胶 电子束光刻 抗蚀剂
• 年，卷（期）: 2003,（12）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 43-46
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2831字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2003.12.011

摘要

化学放大胶(Chemically Amplified Resists,简称CARs)是下一代光刻技术中极具发展潜力的一种光学记录介质.介绍了化学放大胶在电子束光刻技术中图形制作工艺的关键步骤以及目前常用的几种化学放大胶,分析了将化学放大胶用于电子束曝光工艺应注意的问题和它将来的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩立	中国科学院电工研究所	98	376	9.0	13.0
2	田丰	中国科学院电工研究所	49	422	10.0	20.0
3	杨忠山	中国科学院电工研究所	4	24	3.0	4.0