以工艺为主线的MEMS设计工具IMEE

• 作者: 周荣春 张海霞 肖志勇 郝一龙 郭辉
• 来源期刊: 今日电子
• 学科: 工学
• 关键词: IMEE MEMS CAD 设计 在线模拟
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 技术与市场
• 页码范围: 40-41
• 页数: 2页
• 分类号: TN4
• 字数: 1591字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-9606.2003.06.023

摘要

IMEE是一个自主研发的MEMMS CAD系统,它包括结点化的系统设计功能、快速的力电耦合性能分析功能、参数化版图单元的版图设计功能、工艺编辑设计和三维模拟功能等.该系统的最大特点是以工艺为主线,贯穿整个设计过程,重点解决MEMS设计与工艺脱节的问题,实现MEMS工艺设计和在线模拟.另外,该系统是跨平台的,适用于UNIX和Windows操作系统,兼容其他MEMS CAD软件,还支持用户自主扩展其他功能模块.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝一龙	北京大学微电子研究院	46	716	15.0	25.0
2	张海霞	北京大学微电子研究院	24	168	6.0	12.0
3	郭辉	北京大学微电子研究院	27	236	8.0	15.0
4	肖志勇	北京大学微电子研究院	4	40	3.0	4.0
5	周荣春	北京大学微电子研究院	2	32	1.0	2.0