磁悬浮进给机构设计

• 作者: 任建岳 孙宝玉 林洁琼 梁淑卿 王登月
• 来源期刊: 制造技术与机床
• 学科: 工学
• 关键词: 线性驱动 磁悬浮技术 进给机构 直线同步电动机 数字PID控制
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 设计与研究
• 页码范围: 41-43
• 页数: 3页
• 分类号: TN4
• 字数: 2051字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2402.2003.11.016

摘要

设计了一种集磁悬浮技术和线性驱动技术为一体的精密磁悬浮进给机构.这种机构采用直线同步电动机对悬浮平台进给机构提供驱动力,实现了进给机构在水平和垂直两方向的无接触支撑和导向,具有响应快速、刚度高以及定位精确的特点,能够满足微电子设备高精度、高效率和超洁净加工的需要.文章还对磁悬浮力和直线电动机推力进行了分析计算.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任建岳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	127	1431	23.0	31.0
2	孙宝玉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	44	291	12.0	16.0
4	林洁琼		57	278	9.0	15.0
7	王登月		6	91	5.0	6.0
8	梁淑卿		8	75	5.0	8.0