基于DSP石英晶片研磨的自动测控系统

• 作者: 喻寿益 谢琰华
• 来源期刊: 中南工业大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 压电晶体 谐振 PIL锁相环 DSP
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 机电与信息工程
• 页码范围: 92-94
• 页数: 3页
• 分类号: TP274+.5
• 字数: 1753字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7207.2003.01.023

摘要

提出一种在线检测石英压电晶片在研磨过程中频率变化的方法,以便自动控制晶片研磨厚度.以TMS320F240 DSP为核心构成测控系统,应用PLL锁相环技术产生晶片驱动信号,晶片在某一频率电压驱动下发生谐振,实时捕获谐振信号,经过信号处理,测出晶片频率.当频率达到给定值时,自动停止研磨过程.运行结果表明,基于此方法设计的晶片频率自动测控装置,响应速度快,精度高,并可实现石英压电晶体研磨过程自动化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	喻寿益	中南大学信息科学与工程学院	157	1877	23.0	33.0
2	谢琰华	中南大学信息科学与工程学院	1	2	1.0	1.0