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摘要:
分别以ZrOCl2*8H2O和正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶工艺制备了性能稳定的ZrO2和SiO2溶胶.用旋转镀膜法分别在K9 玻璃和单晶硅片上制备了ZrO2/SiO2多层膜.采用溶剂替换和紫外光处理等手段,有效地解决了ZrO2/SiO2多层膜中膜层开裂和膜间渗透等问题.应用扫描电子显微镜观测了薄膜的表面和剖面微观形貌,并用椭偏仪测得薄膜的厚度和折射率,研究了薄膜厚度、折射率与热处理温度、紫外光处理时间的关系,对所获得薄膜的紫外-可见、红外光谱进行了分析.用输出波长1064nm,脉宽15ns的电光调Q激光系统产生的强激光进行了单层膜的辐照实验,结果发现溶剂替换后激光损伤阈值有所提高.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 ZrO2/SiO2多层膜的化学法制备研究
来源期刊 强激光与粒子束 学科 物理学
关键词 溶胶-凝胶工艺 水热法 紫外光处理 激光损伤阈值 有机粘接剂
年,卷(期) 2003,(4) 所属期刊栏目 高功率激光与光学
研究方向 页码范围 326-330
页数 5页 分类号 O484.4
字数 2898字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 沈军 同济大学波耳固体物理研究所 199 2285 26.0 36.0
2 王珏 同济大学波耳固体物理研究所 79 1255 22.0 32.0
3 杨帆 同济大学波耳固体物理研究所 95 774 15.0 24.0
4 吴广明 同济大学波耳固体物理研究所 118 1607 22.0 32.0
5 张志华 同济大学波耳固体物理研究所 52 554 14.0 22.0
6 孙骐 同济大学波耳固体物理研究所 17 263 8.0 16.0
7 付甜 同济大学波耳固体物理研究所 8 194 6.0 8.0
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节点文献
溶胶-凝胶工艺
水热法
紫外光处理
激光损伤阈值
有机粘接剂
研究起点
研究来源
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相关学者/机构
期刊影响力
强激光与粒子束
月刊
1001-4322
51-1311/O4
大16开
四川绵阳919-805信箱
62-76
1989
chi
出版文献量(篇)
9833
总下载数(次)
7
总被引数(次)
61664
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:http://www.863.org.cn
项目类型:重点项目
学科类型:信息技术
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