双端固定音叉式硅微机械谐振器的研究与应用

• 作者: 张国雄 李醒飞 钟莹
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 双端固定音叉 微机电系统 加速度计 谐振器
• 年，卷（期）: 2003,（14）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1199-1201
• 页数: 3页
• 分类号: TN40
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2003.14.010

摘要

提出了一种使用双端固定音叉的新型结构的谐振式硅微机械加速度计.它用硅梁侧壁形成的静电电容进行激振,并通过在音叉臂上制作的压敏电阻检测振动.该加速度计输出的是频率信号,具有精度高、抗干扰能力强的优点.探讨了传感器的工作原理,并用有限元方法进行了仿真模拟,结果显示传感器的灵敏度约为2 Hz/g.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国雄		267	3932	30.0	48.0
2	李醒飞		147	1425	20.0	30.0
3	钟莹		31	275	10.0	16.0