拼接干涉测量技术

• 作者: 于瀛洁 李国培
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学波面检测 子孔径测量技术 相关拼接技术
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 608-612
• 页数: 5页
• 分类号: TH74
• 字数: 3786字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2003.06.015

摘要

利用相关拼接技术实现光学波面检测,可以用较小的测量口径实现较大面积的测量,并保持高的测量精度、高的空间分辨率和系统的低成本.获得高精度的子孔径波面分布和有效的拼接方法是这一技术的关键.简述了采用相移技术测量子孔径波面的关键技术.两个子孔径之间的拼接是比较容易的,但采用两两拼接的方法会有很大的误差累积.因此采用了具有误差均化作用的拼接方法,该方法本质上是一种并行的方法.文中简述了该拼接方法的数学模型和求解方法.最后给出了拼接的实测结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于瀛洁	上海大学精密机械工程系	80	791	16.0	24.0
2	李国培	上海大学精密机械工程系	5	60	4.0	5.0