国外电子工业特种气体三氟化氮发展概况

• 作者: 徐汀
• 来源期刊: 精细与专用化学品
• 学科: 经济
• 关键词: 三氟化氮 电子气体 半导体
• 年，卷（期）: 2003,（16）
• 所属期刊栏目: 市场资讯
• 页码范围: 10-11
• 页数: 2页
• 分类号: F4
• 字数: 2859字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1100.2003.16.003

摘要

本文概括了国外三氟化氮的发展情况,介绍了三氟化氮的性质、制备、用途和特点,特别指出它在环保方面的优点.三氟化氮是电子工业用特种气体,也是专用化学品,它的市场依赖于半导体工业的发展.到2000年,半导体工业已得到迅速发展,增大了需求量.近期三氟化氮的发展动向主要体现为国外多家公司改进工艺,扩大生产能力和组建合资企业.我国也与美国杜邦公司组建合资企业并扩大生产能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐汀		1	4	1.0	1.0