酸增殖剂及其应用

• 作者: 周庆莉 张存林 曹胜利
• 来源期刊: 精细与专用化学品
• 学科: 工学
• 关键词: 酸增殖剂 化学增幅抗蚀 磺酸酯
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 技术进展
• 页码范围: 21-23,18
• 页数: 4页
• 分类号: TQ2
• 字数: 2757字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1100.2003.05.008

摘要

基于自催化酸解反应的酸增殖是新的提高成像灵敏度的方法.目前发现有实用价值的酸增殖剂绝大多数为磺酸酯类化合物.本文详细介绍了酸增殖机理和酸增殖剂的种类,比较了2-甲基-2-(对甲苯磺酰氧甲基)-3-酮-丁酸叔丁酯、环己二醇二甲苯磺酸酯、三聚羟基丙醛三对甲苯磺酸酯在化学增幅抗蚀剂体系中的应用性能,认为环己二醇二磺酸酯的灵敏度高,更具有实用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹胜利	首都师范大学物理系	31	176	8.0	12.0
2	张存林	首都师范大学物理系	111	1730	24.0	35.0
3	周庆莉	首都师范大学物理系	12	22	3.0	4.0