基于分子动力学的MEMS器件微摩擦特征仿真研究

• 作者: 廖宁波 杨平
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 分子动力学模拟 微机电系统 纳米摩擦学 界面摩擦
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳科学与技术
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TH703
• 字数: 3684字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.z1.002

摘要

微机电系统(MEMS)的尺度深入到微-纳米量级时,表面力与体积力相比成为起主导作用的力,其黏着效应与表面效应渐成主导的或不可忽略的机制.分子动力学模拟的日趋成熟,使人们有可能研究一种最单纯的摩擦状态,即"界面摩擦",它是指把负荷引起的塑性变形、黏着和粗糙度的影响抑制到最低限度,实现原子级光滑表面的分子接触时的摩擦状态.对不同材料的界面摩擦过程进行了分子动力学(MD)模拟研究,采用基于Morse势函数描述原子间的相互作用,以牛顿方程建立力学运动方程,使用改进后的Verlet算法求解原子运动轨迹.将MD仿真结果得出的微观摩擦规律与文献[7]等实验对比,并进行了讨论.最后在此基础上探讨了分子动力学方法在微机械设计中的作用及发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨平	桂林电子工业学院电子机械系先进设计与制造技术研究所	19	96	6.0	9.0
2	廖宁波	桂林电子工业学院电子机械系先进设计与制造技术研究所	1	0	0.0	0.0