花蕾状ZnO层/SiO2多孔网络复合薄膜的制备及其发光特性

• 作者: 庄惠照 李玉国 王书运 王瑞华 石礼伟 薛成山
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控共溅射 热氧化 复合薄膜 花蕾状ZnO层 SiO2多孔网络
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 89-92
• 页数: 4页
• 分类号: TB443
• 字数: 2452字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2004.02.003

摘要

采用Zn/SiO2复合靶,用射频磁控共溅射技术在Si(111)衬底上沉积金属锌(Zn)/二氧化硅(SiO2)基质复合薄膜,在空气气氛中700℃条件下进行退火热处理1 h,Zn从SiO2基质中析出并在薄膜表面被空气中的O2氧化,合成了花蕾状ZnO层/SiO2多孔网络复合薄膜材料.用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和光致发光谱(PL)分析了复合薄膜的微结构、组成、表面形貌及光致发光特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李玉国	山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所	44	186	7.0	11.0
2	王书运	山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所	57	450	11.0	19.0
3	庄惠照	山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所	72	276	9.0	11.0
4	薛成山	山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所	117	476	11.0	13.0
5	王瑞华	山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所	4	16	2.0	4.0
6	石礼伟	山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所	17	139	7.0	11.0