电泳法制备ZnO/SiO2复合薄膜

• 作者: 李忠 李玉国 石礼伟 薛成山
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 电泳法 复合薄膜 光致发光
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 43-45
• 页数: 3页
• 分类号: TN443
• 字数: 2190字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2006.06.014

摘要

用电泳法在硅衬底上沉积了ZnO/SiO2复合薄膜,然后在650℃和950℃退火热处理30 min.测试结果表明,样品经650℃退火后,复合薄膜ZnO和SiO2微晶颗粒集结成块状,结晶程度较高,颗粒尺寸较大,不连续的散落在硅衬底上.经950℃退火后,其中ZnO和SiO2发生反应生成少量的ZnSiO4微晶颗粒,使复合薄膜在室温下的绿色发光强度有所增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李玉国	山东师范大学物理与电子科学学院	44	186	7.0	11.0
2	薛成山	山东师范大学物理与电子科学学院	117	476	11.0	13.0
3	李忠	山东师范大学物理与电子科学学院	55	330	8.0	17.0
4	石礼伟	山东师范大学物理与电子科学学院	17	139	7.0	11.0