微机电系统静动态测试技术研究

• 作者: 史铁林 白金鹏 谢勇君
• 来源期刊: 数字制造科学
• 关键词: 微机电系统 微几何量 力学性能 动态参数 频闪观测 微视觉 干涉技术
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 字数: 11830字
• 语种: 中文

摘要

在中国国家863高技术发展计划MEMS重大专项课题《MEMS动态特性频闪干涉视觉三维测量技术及系统》资助下，研发微机电系统(Micro Electro Mechanical System , MEMS)动态特性三维测量技术与系统。对已有的微几何量、微材料力学性能和MEMS动态参数测试方法进行研讨。 几何尺寸和表面形貌轮廓的测量是MEMS测量的基础。二维微几何量检测采用普通光学显微镜和扫描电子显微镜。表面形貌测量大致可分为接触式测量和非接触式测量，机械触针式轮廓仪是典型的接触式测量仪器，非接触式测量大多采用光学技术，主要有光针式轮廓仪，采用光切、干涉、投影光栅和微视觉等测量方法。