DSP实现双面光刻底面对准系统中的图像采集与处理

• 作者: 柯学 罗正全
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 底面对准 数字信号处理器 图像处理 对准标记
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 44-46
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1699字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.03.011

摘要

在简述双面光刻对准系统原理的基础上,着重论述了如何利用DSP进行图像采集与处理,以实现底面曝光的高精度对准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗正全	中国科学院光电技术研究所	18	69	5.0	7.0
2	柯学	中国科学院光电技术研究所	7	55	4.0	7.0