纳焦飞秒激光在有机材料表面刻划微结构光栅的研究

• 作者: 倪晓昌 柴路 梁建国 王清月 胡明列 贾威
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光微加工 相干信号探测 微结构光栅 多脉冲烧蚀阈值
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 274-277
• 页数: 4页
• 分类号: TN24
• 字数: 1998字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2004.04.006

摘要

使用振荡器产生的飞秒激光在透明有机材料PMMA表面进行了刻划微结构光栅的研究.通过理论分析得到了飞秒激光参数和平台移动速度对线宽的影响,进行了系统的加工实验,加工结果与理论分析基本吻合.在透明有机材料PMMA表面进行了多种光栅的刻划,并对刻划的光栅进行了衍射和色散测试,调整光栅的尺寸和排列方式,得到了形状各异的衍射图案.