128元非致冷氧化钒红外探测器的制作

• 作者: 易新建 王宏臣 肖静 陈四海 黄光
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 红外探测器 微桥结构 微桥阵列 非致冷 氧化钒薄膜
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 99-102
• 页数: 4页
• 分类号: TN215|O484.1
• 字数: 2137字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2004.02.005

摘要

采用新工艺在氮化硅衬底上制备了室温时电阻温度系数为-0.021K-1的氧化钒薄膜,以此为基础,利用光刻和反应离子刻蚀工艺在硅衬底上制作了128元氧化钒红外探测器.为了降低探测器敏感元与衬底间的热导,设计制作了自支撑的微桥结构阵列.测试结果显示探测器的响应率和探测率在8～12μm的长波红外波段处分别达到104V/W和2×108cmHz1/2W-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄光	华中科技大学光电子工程系	10	144	7.0	10.0
2	易新建	华中科技大学激光国家重点实验室	102	1261	21.0	29.0
6	陈四海	华中科技大学光电子工程系	46	459	12.0	18.0
7	肖静	华中科技大学激光国家重点实验室	18	190	7.0	13.0
11	王宏臣	华中科技大学激光国家重点实验室	7	124	6.0	7.0