非致冷红外探测器用氧化钒多晶薄膜的制备

• 作者: 易新建 李雄伟 王宏臣 陈四海 黄光
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化钒薄膜 离子束溅射 电阻温度系数 非致冷红外探测器
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 64-66
• 页数: 3页
• 分类号: TN215|O484.1
• 字数: 1784字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2004.01.014

摘要

采用离子束溅射镀膜和氧化工艺在Si(110)和石英衬底上制备了用于非致冷红外探测器阵列热敏材料的混合相氧化钒多晶薄膜.扫描电子显微镜(SEM)照片显示:薄膜表面呈针状晶粒状,而且薄膜表面光滑、致密,均匀性好.测试结果表明:氧化钒薄膜的方块电阻和电阻温度系数(TCR)在20℃分别为50KΩ和-0.021K-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	易新建	华中科技大学光电子工程系	102	1261	21.0	29.0
5	陈四海	华中科技大学光电子工程系	46	459	12.0	18.0
6	王宏臣	华中科技大学光电子工程系	7	124	6.0	7.0
7	李雄伟	华中科技大学光电子工程系	3	65	3.0	3.0
11	黄光	中国科技大学图象识别和人工智能教育部重点实验室	1	30	1.0	1.0