基于VO2薄膜非致冷红外探测器性能研究

• 作者: 张静 易新建 熊笔峰 陈长虹
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 测辐射热探测器 红外 二氧化钒 探测率 响应率
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 136-138
• 页数: 3页
• 分类号: TN21
• 字数: 1282字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2001.02.013

摘要

用微电子工艺制备了VO2溅射薄膜红外探测器,在296K的环境温度中测试了该探测器对8-12μm红外辐射的黑体响应率和噪声电压,结果显示该探测器在调制频率为30Hz时可以实现探测率D*＝1.89×108cmHz1/2W-1，热时间常数τ=0.011s的非致冷红外探测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	易新建	华中科技大学光电工程系	102	1261	21.0	29.0
2	张静	华中科技大学光电工程系	219	1718	21.0	31.0
3	陈长虹	华中科技大学光电工程系	6	124	4.0	6.0
4	熊笔峰	华中科技大学光电工程系	1	53	1.0	1.0