正交法对DEM技术中模压工艺的优化研究

• 作者: 刘景全 孙洪文 陈迪 顾盼
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: DEM技术 模压 微复制 正交实验
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 45-49
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 2363字
• 语种: 中文

摘要

DEM(Deepetching,Electroforming,Microreplication)技术是一种三维微细加工技术,由深刻蚀、微电铸和微复制三种工艺组成.其中微复制常采用模压工艺,而模压工艺具有许多参数,为了确定主要影响因素和最佳工艺条件,首次用正交实验方法对模压工艺进行优化.用镍模具对聚碳酸酯(PC)进行模压,得到影响因素主次为:模压温度＞施加压力＞加力速度＞加力时间,优化参数为:模压温度180℃,压力3000 N,加压速度0.2 mm/min,力维持时间120 s.用得到的优化参数进行实验得到了最佳的实验结果,由此证明了此方法的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈迪		2	15	2.0	2.0
2	刘景全		2	15	2.0	2.0
3	孙洪文		1	4	1.0	1.0