薄膜外延生长及其岛核形成的计算机模拟

• 作者: 刘军 张佩峰 贺德衍 郑小平 马健泰
• 来源期刊: 中国科学G辑
• 学科: 工学
• 关键词: Monte Carlo算法 计算机模拟 岛核 薄膜生长 粗糙度 相对密度
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 131-140
• 页数: 10页
• 分类号: TP3
• 字数: 4012字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-7275.2004.02.002

摘要

以Cu膜为例,用Monte Carlo算法模拟了薄膜生长的随机过程.找到了生长过程中的三个优化温度,并研究了它们的渐近一致性,同时对各种温度区间内表面粗糙度、相对密度随入射率的变化规律进行深入的探讨.模拟中考虑了一些新的效应,如原子迁移过程中势能的变化,以及原子扩散引起的连带效应,从而使模拟更加合理.模型中采用了冻结周围原子近似和周期性边界条件处理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺德衍	兰州大学物理科学与技术学院	68	559	13.0	19.0
2	郑小平	兰州交通大学数理与软件工程学院	18	135	6.0	11.0
3	张佩峰	兰州大学物理科学与技术学院	11	111	5.0	10.0
4	刘军	兰州大学物理科学与技术学院	6	67	4.0	6.0
5	马健泰	兰州大学化学化工学院	2	50	2.0	2.0