透明导电氧化锌薄膜材料制备技术的评价

• 作者: 张萌 敖建平 李禾 王应民 程国安
• 来源期刊: 国外金属加工
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌薄膜材料 生产技术 光电材料 太阳能电池 磁控溅射工艺
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 51-53
• 页数: 3页
• 分类号: TM914.4

摘要

综述透明导电ZnO薄膜制备技术的发展状况。ZnO薄膜材料具有高稳定、成本低等特点，极具市场发展潜力，尤其柔性衬底的应用，有望在太阳能电池领域取代传统使用的ITO膜。