SEMI半导体材料标准的分析

• 作者: 贺东江
• 来源期刊: 冶金标准化与质量
• 学科: 工学
• 关键词: SEMI 半导体材料 分析
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 标准研究
• 页码范围: 20-22
• 页数: 3页
• 分类号: TG123|F406
• 字数: 3750字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0514.2004.05.008

摘要

通过系统收集和分析sEMI全套有关半导体材料新技术标准的资料,能了解国际半导体材料新技术的发展方向,指导我国半导体材料的生产和检测.同时,结合我国对半导体材料标准的需求,提出我国微电子材料标准及新技术科研项目建议,对规划编制我国的半导体新技术的标准体系及我国半导体产业的发展也具有重要的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺东江		2	2	1.0	1.0