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微机电系统的发展及其应用
微机电系统的发展及其应用
作者:
刘文艳
张慧杰
林忠华
胡国清
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微机电系统
基础研究
微加工技术
微型传感器
现状及展望
摘要:
微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21世纪的高新科技.介绍了微机电系统产生的背景影响、组成特征和基础研究内容,综述了微机电系统技术基础所涉及的材料、微机械设计和模、微细加工技术以及微封装与测试等领域,并对微机电系统的应用、典型的微器件、国内外的发展现状及前景进行全面分析.在此基础上,论述了MEMS技术目前存在的问题和未来发展的趋势.
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文献信息
篇名
微机电系统的发展及其应用
来源期刊
纳米技术与精密工程
学科
工学
关键词
微机电系统
基础研究
微加工技术
微型传感器
现状及展望
年,卷(期)
2004,(2)
所属期刊栏目
微机电系统
研究方向
页码范围
117-123
页数
7页
分类号
TN305.7
字数
8655字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1672-6030.2004.02.008
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
胡国清
厦门大学机电工程系
61
929
15.0
29.0
2
刘文艳
厦门大学机电工程系
19
354
9.0
18.0
3
张慧杰
厦门大学机电工程系
5
235
4.0
5.0
4
林忠华
厦门大学机电工程系
4
224
3.0
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参考文献(0)
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参考文献(7)
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二级引证文献(0)
2005(7)
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引证文献(3)
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2007(21)
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二级引证文献(10)
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二级引证文献(8)
2009(18)
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二级引证文献(11)
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二级引证文献(11)
2011(11)
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2019(21)
引证文献(3)
二级引证文献(18)
2020(6)
引证文献(1)
二级引证文献(5)
研究主题发展历程
节点文献
微机电系统
基础研究
微加工技术
微型传感器
现状及展望
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
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纳米技术与精密工程(英文)
主办单位:
天津大学
中国微米纳米技术学会
出版周期:
季刊
ISSN:
1672-6030
CN:
12-1458/03
开本:
出版地:
天津市南开区卫津路92号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
eng
出版文献量(篇)
1315
总下载数(次)
2
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