基于SOI衬底加工的微型电场传感器研究

• 作者: 夏善红 白强 邓凯 陈绍凤 龚超
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 绝缘体上硅(SOI) 阳极键合 深反应离子刻蚀(DRIE)
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 284-287
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2004.04.008

摘要

提出了一种基于微机械技术的微型电场传感器.该器件由振动部分和感应电极组成,通过静电梳齿结构驱动,并利用溅射到衬底的栅状金电极作为工作电极.基于SOI衬底加工的设计流程能够简化悬浮结构的制备.由于器件运动中受滑膜阻尼作用,因此可在大气下测试和封装,能够节约成本.阐述了器件的工作原理、结构仿真以及其键合/减薄工艺流程.该器件具有小尺寸和批量生产的优势,有望在安全预警和航天器升空环境探测等方面得以应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏善红	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	111	654	14.0	18.0
2	白强	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	11	159	8.0	11.0
3	陈绍凤	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	27	268	10.0	15.0
4	龚超	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	5	74	4.0	5.0
8	邓凯	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	8	163	5.0	8.0