纳米电子器件与纳米电子技术

• 作者: 史友进 沈海军
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米电子器件 纳米电子技术 纳米器件加工
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 纳米器件与技术
• 页码范围: 14-19
• 页数: 6页
• 分类号: TN301|TN405
• 字数: 6818字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.06.003

摘要

介绍了纳米电子器件与纳米电子技术的概念以及纳米电子器件的分类;综述了现有的光刻、外延、SPM、特种精细加工等相关的纳米电子器件制备与加工技术;阐述了纳米电子技术中急需解决的若干关键问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈海军	南京航空航天大学航空宇航学院	96	493	12.0	18.0
2	史友进	南京航空航天大学航空宇航学院	20	194	8.0	13.0