球面绝对检测及误差控制

• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉测量 绝对检测 误差控制
• 年，卷（期）: 2004,（z2）
• 所属期刊栏目: 现代光学仪器与精密机械
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TQ171.65
• 字数: 3292字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.z2.001

摘要

高精度检测技术是促进光学加工技术发展的必备条件.ZYGO干涉仪检测光学表面面形代表着国际先进水平,常规检测精度取决于仪器配备的标准镜头(通常标准镜头精度为λ/10,最高精度可达λ/20),λ/20测量精度不能满足更高精度面形检测的需求.本文探讨了表面绝对检测技术及误差控制,通过用ZYGO干涉仪及两种精度等级的参考镜头对f/1.07的球面镜进行常规GPI干涉和双球面实时绝对检测比对,证明了表面绝对检测的有效性.实验及分析表明:在超净实验室、高精度防振平台、高精密可旋转5维调整架及精密导轨的测量条件下,采用表面绝对测量技术,严格控制基准定位和共焦位置旋转角度定位,多次重复测量,λ/10标准镜头同样能够达到λ/30 PV的高精度检测目的.