基于平移旋转的球面绝对检测技术仿真分析

• 作者: 伍凡 侯溪 宋伟红 杨鹏
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学检测 平移旋转法 球面绝对检测 高精度面形检测
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 2011全国先进光学制造与战略新兴产业发展论坛暨学术会议论文
• 页码范围: 3229-3234
• 分类号: O436.1
• 字数: 2711字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20112312.3229

摘要

基于平移旋转的球面绝对检测技术是一种实现高精度面形测量的有效手段.通过绕光轴多次等角度旋转被测球面测得被测面面形误差的旋转非对称部分,并由共心平移被测球面恢复出被测面面形误差的旋转对称部分,合成即可得到被测球面完整的面形信息.详细推导了平移旋转法的理论公式,并进行了仿真分析.仿真结果表明,基于上述方法获得的被测球面面形误差与初始面形误差残差图的均方根值为5.3000×10-12nm,其与初始面形误差均方根值的比值为1.1641×10-12,理论误差极小,满足高精度面形检测要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伍凡	中国科学院光电技术研究所	79	917	19.0	25.0
2	侯溪	中国科学院光电技术研究所	28	403	12.0	19.0
3	杨鹏	中国科学院光电技术研究所	27	161	8.0	12.0
4	宋伟红	中国科学院光电技术研究所	3	15	2.0	3.0