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多弧磁控溅射离子镀膜设备
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摘要：
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PID模糊控制技术在多弧离子镀膜设备中的应用
镀膜
多弧离子镀
设备
PLC及模糊控制
原理
基于PEM的反应磁控溅射镀膜机参数监控系统
磁控溅射
真空镀膜
串口通信
LabVIEW
一种真空离子溅射镀膜设备控制软件的设计
离子束溅射技术
真空镀膜
控制软件
指令集
重构
木材磁控溅射镀膜金属试验
金属木材
磁控溅射
电磁屏蔽效能
内容分析
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期刊影响力
宇航材料工艺
主办单位：
航天材料及工艺研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1007-2330
CN：
11-1824/V
开本：
大16开
出版地：
北京9200信箱73分箱
邮发代号：
创刊时间：
1971
语种：
chi
出版文献量（篇）
2739
总下载数（次）
7
总被引数（次）
22196
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