用于微摩擦测试的微力传感器及其制作

• 作者: 吴一辉 张平 李也凡 王淑荣 贾宏光 黎海文
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微摩擦测试 微力传感器
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 65-69
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2748字
• 语种: 中文

摘要

微构件表面的摩擦状况和磨损机理与宏观构件有较大的区别,需一种能够测量微米尺度样品摩擦特性的专用仪器.给出了一种新型硅微力传感器的设计原理、结构、制作工艺及其弱信号采集方法.静态性能测试结果表明,传感器最大输出电压2 000μV,重复性约为1.3%,灵敏度约为65 V/N,分辨率为46 μN,总精度为2.3%,基本上满足了微摩擦测试的需要.实验及计算表明,通过优化微力传感器的结构,改进芯片的封装,可以大大减少其体积,并提高其各项性能指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张平	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	180	2022	23.0	35.0
2	贾宏光		120	1499	18.0	33.0
3	王淑荣	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	105	757	15.0	23.0
4	吴一辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	126	1121	18.0	27.0
5	黎海文	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	26	202	9.0	13.0
6	李也凡	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	7	59	4.0	7.0