纳米测量及纳米样板

• 作者: 景蔚萱 蒋庄德
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 原子力显微镜 纳米样板 探针诱导阳极氧化 机械划刻 线宽 直线度 平行度
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 3666字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2004.01.003

摘要

介绍了纳米测量系统的组成以及纳米样板的研究现状.提出了两种制备纳米结构样板的方法:Si基底上的原子力显微镜(AFM)探针诱导阳极氧化工艺和Au膜上的AFM探针机械划刻工艺.最后对Si基底上制备的纳米结构样板进行了精度分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学精密工程研究所	165	1512	18.0	28.0
2	景蔚萱	西安交通大学精密工程研究所	17	72	5.0	7.0