1～3μm短波红外光导探测器阳极氧化工艺的研究

• 作者: 何丹 洪雁 裘萍 赵鹏 郑丽娟
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 短波红外光导探测器 阳极氧化 工艺条件 成品率
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: TN219
• 字数: 2156字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2004.06.012

摘要

简要介绍了通过阳极氧化工艺条件的改变,确定1～3μm短波红外光导探测器阳极氧化的最佳工艺条件,从而改善了器件性能,大大提高了产品成品率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	洪雁		3	6	1.0	2.0
2	赵鹏		7	14	2.0	3.0
3	郑丽娟		1	0	0.0	0.0
4	何丹		2	9	1.0	2.0
5	裘萍		1	0	0.0	0.0