SnO2气敏膜的生成方法概况

• 作者: 孙智 康学勤 杨春敏 赵宇龙
• 来源期刊: 煤矿机械
• 学科: 工学
• 关键词: 气敏性 SnO2薄膜 传感器 溅射
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺·装备
• 页码范围: 89-91
• 页数: 3页
• 分类号: TB321|TB381
• 字数: 3488字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0794.2004.02.035

摘要

介绍了现存的SnO2的生成方法,分析了影响SnO2薄膜的一些因素以及这些因素在实验中对SnO2薄膜厚度及性质的影响,为今后研究SnO2薄膜的生成方法打下了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙智	中国矿业大学机电与材料工程学院	92	606	12.0	20.0
2	康学勤	中国矿业大学机电与材料工程学院	26	130	6.0	11.0
3	杨春敏	中国矿业大学机电与材料工程学院	22	188	9.0	13.0
4	赵宇龙	中国矿业大学机电与材料工程学院	30	140	6.0	11.0