ITO透明导电薄膜的溶胶凝胶法制备及结构表征

• 作者: 任冬燕 李晶 李芝华
• 来源期刊: 稀有金属与硬质合金
• 学科: 工学
• 关键词: ITO薄膜 溶胶凝胶 结构表征
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: TB383
• 字数: 2033字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-0536.2004.04.006

摘要

以五水硝酸铟和乙酰丙酮为原料,以无水氯化锡为掺杂剂,采用溶胶凝胶工艺,用提拉法在石英玻璃基体上制备了ITO透明导电薄膜.采用DTA-TG、XRD、SEM、四探针电阻率仪、紫外分光光度计等仪器对ITO透明导电薄膜的相转变过程、物相、表面结构、微区形貌和物理性能进行了测定和分析.结果表明:采用溶胶凝胶工艺在石英玻璃基体上制备ITO透明导电薄膜是完全可行的.ITO薄膜具有由多个粒子堆积而成的多孔微观结构,其晶体结构为立方锰铁矿结构,[111]为明显的择优取向,经过5次镀膜后其厚度在150 nm以下,薄膜的方电阻为110 Ω,其电阻率约为1.65×10-2 Ω*cm.薄膜的透光率在90%以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晶	中南大学材料学院	135	1341	19.0	27.0
2	李芝华	中南大学材料学院	54	553	13.0	20.0
3	任冬燕	中南大学材料学院	15	164	8.0	12.0