应用MBTC温控系统实现对扩散炉的先进工艺要求

• 作者: 李彦斌
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 扩散 扩散炉 温度控制
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 先进工艺设备技术
• 页码范围: 60-63
• 页数: 4页
• 分类号: TF860.1
• 字数: 1827字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.03.018

摘要

说明了如何设计、开发及应用于扩散炉之MBTC温控系统以满足先进工艺需求.MBTC温控系统是由搭配H∞多变数控制设计法建构一模型表示温度与加热丝功率变化的关系,以取代传统PID控制系统,并可提供更优异的温度控制、生产效率、工艺质量与投资回收率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李彦斌		1	2	1.0	1.0