MOCVD系统生长过程的优化精确控制

• 作者: 廖长俊 王浩 范广涵
• 来源期刊: 华南师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: MOCVD 质量流量计 最小二乘法 精确控制
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 67-71
• 页数: 5页
• 分类号: TJ265|TN153|TQ02
• 字数: 2608字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5463.2004.02.012

摘要

通过对Turbo Disc MOCVD设备系统以及部件工作原理的研究,提出了多种对典型器件生产工艺的调整方案,如压力流量的调整,质量流量计(MFC)工作曲线的完善,主动进气补偿等等,实现了MOCVD生长系统生长过程的自动精确控制.并对设备提出了改进意见.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范广涵	华南师范大学信息光电子学院	147	1064	16.0	26.0
2	王浩	华南师范大学信息光电子学院	14	108	5.0	10.0
3	廖长俊	华南师范大学信息光电子学院	2	9	1.0	2.0