电子束背散射与前散射的分析

• 作者: 何立琴 尹明
• 来源期刊: 山东大学学报（工学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 邻近效应 电子束曝光机 畸变 背散射与前散射
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 页码范围: 42-45
• 页数: 4页
• 分类号: O485
• 字数: 2687字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3961.2004.05.011

摘要

利用电子束曝光机完成有关邻近效应的实验.曝光过程中加速电压为5～30 kV,衬底基片为铬和PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯).在处理模拟电子穿越衬底PMMA的边界时,采用了几率确定法,用以判断电子是否在界面处发生一次弹性散射.得到了散射电子在电子束胶层中背散射与前散射的能量沉积分布图.实际应用表明,该方法像差小而可以不用动态校正.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹明	山东大学控制科学与工程学院	15	74	4.0	8.0
2	何立琴	山东大学控制科学与工程学院	9	105	5.0	9.0