SiNx薄膜热物性参数实验测量与分析研究

• 作者: 余建祖 余雷 王永坤
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微尺度传热 热物性参数 SiNx薄膜 测量技术
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 总论
• 页码范围: 401-405
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3625字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.02.014

摘要

采用一种新的实验测量方案,将金属加热单元与温度探测单元合二为一,间接获得了在半导体和微电子学MEMS领域内有重要用途的SiNx薄膜的导热系数、发射率、比热容和热扩散系数,并对实验结果进行了不确定度分析,为微电子电路设计和掩模成型工艺等提供了可靠的热物性数据. 实验结果表明,薄膜的导热系数、发射率、热扩散系数远比相应体材质低,而且还与温度、厚度有关,尺寸效应显著,而比热容则与体材质相差不大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王永坤	北京航空航天大学航空科学与工程学院	10	33	4.0	5.0
2	余建祖	北京航空航天大学航空科学与工程学院	61	336	10.0	16.0
3	余雷	北京航空航天大学航空科学与工程学院	6	11	3.0	3.0