硅片参数测试仪的预防性维护

• 作者: 闫志瑞
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 设备维护与保养
• 页码范围: 78-79
• 页数: 2页
• 分类号: TN3
• 字数: 1851字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.01.020

摘要

主要对ADE公司生产的硅片参数测试仪(Ultra Scan 9600)的预防性维护及注意事项进行了简单的说明.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫志瑞		11	30	2.0	5.0