用改进的Rymaszewski公式及方形四探针法测定微区的方块电阻

• 作者: 刘新福 孙以材 张艳辉 陈志永
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 四探针技术 方形四探针 微区电阻 探针游移
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 所属期刊栏目: 总论
• 页码范围: 2461-2466
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 4095字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.08.011

摘要

提出用改进的Rvmaszewski公式并使用方形四探针法测试无图形大型硅片微区薄层电阻的方法,从理论上推导出方形四探针产生游移时的Rymaszewski改进公式,讨论探针游移对测试结果的影响.制定出可操作的测试方法,对实际样品进行测试验证,并绘制了等值线图.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学微电子技术与材料研究所	117	1247	18.0	31.0
2	刘新福	河北工业大学微电子技术与材料研究所	39	354	9.0	17.0
3	陈志永	河北工业大学微电子技术与材料研究所	5	80	4.0	5.0
4	张艳辉	河北工业大学微电子技术与材料研究所	8	48	3.0	6.0