单晶硅片上Silicalite-1沸石薄膜的合成

• 作者: 刘毅慧 刘靖 唐祯安 杨梅 邹龙江 高金成
• 来源期刊: 化学通报（网络版）
• 关键词: 硅片 Silicalite-1 沸石 沸石薄膜 气体传感器
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 语种: 中文

摘要

利用低温化学气相沉积法,在经过热氧化处理的单晶硅片(100)上引入硅源;再利用气相转移法,将硅片上的硅源晶化为Silicalite-1沸石晶体;最后,利用二次生长法与直接原位晶化法相结合,将含有沸石晶种的硅片放入沸石合成前驱液中,在单晶硅片上合成出了连续致密的薄Silicalite-1沸石膜,单晶硅片没有被腐蚀.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘靖	大连理工大学精细化工国家重点实验室	76	510	13.0	17.0
2	唐祯安	大连理工大学传感技术研究所	142	1281	17.0	29.0
3	邹龙江	大连理工大学材料测试分析中心	49	280	10.0	14.0
4	刘毅慧	大连理工大学精细化工国家重点实验室	26	583	14.0	24.0
5	杨梅	大连理工大学传感技术研究所	7	62	4.0	7.0
6	高金成	大连理工大学精细化工国家重点实验室	2	0	0.0	0.0