微流体泵制造技术及合成橡胶材料RTV615分析

• 作者: 万山红
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微流体泵 RTV615 液体逻辑模块
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 制造工艺技术
• 页码范围: 59-62
• 页数: 4页
• 分类号: TH133.31
• 字数: 2056字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.12.015

摘要

介绍了通过多层软刻蚀技术来设计和制造微型液流旋转式泵,研究如何利用其实现生物科学中的高分子化合物等低层流液流的控制.介绍了泵的制造工艺以及合成橡胶材料RTV615的特点,制造过程中使用到的主要仪器和设备.指出了制造工艺方面有待解决的问题并对微流体泵的前景作了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万山红		1	2	1.0	1.0