钛过渡层与硬质合金基体表面结合状况对金刚石薄膜附着力的影响

• 作者: 傅朝坤 康志成 李克林 汪建华 满卫东 王传新 王升高 马志斌
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: YG6硬质合金 HFCVD 金刚石薄膜 Ti过渡层
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164|TB43
• 字数: 2020字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2004.03.003

摘要

以WC-6%Co为基体,采用磁控溅射法,在原始试样、酸腐蚀试样以及酸蚀后进行氢等离子体脱碳处理的试样上制备Ti过渡层,然后碳化过渡层为TiC.在热丝化学气相沉积装置中,制备金刚石薄膜.研究三种不同试样上的金刚石薄膜与基体的附着力.结果表明,在原始试样上的金刚石薄膜在冷却过程中自动脱落;在经等离子体处理后的试样上,金刚石薄膜与基体间附着力高于在经酸蚀处理的试样上的金刚石薄膜与基体附着力.造成这种现象的主要原因可能是等离子体脱碳还原处理降低WC晶粒表面能,增强Ti与WC间的结合强度,导致TiC过渡层与WC基体结合强度增加,从而增加金刚石薄膜附着力.